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发明名称 FILM FORMING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH05129405(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910288458 申请日期 1991.11.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 KATO HARUO
分类号 H01L21/203;H01L21/31;H01L21/321;H01L21/60;H01L21/66 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
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