发明名称 EQUIPMENT FOR EVALUATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05129406(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910310240 申请日期 1991.10.30
申请人 TEKUNOROOGU:KK 发明人 TOKITA MOTOHARU;CHIKURA KUNITOSHI;MOTOHASHI HIDESUKE;TAKIGAMI MASATAKA
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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