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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05129316(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910291815 申请日期 1991.11.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 DEGUCHI TATSUYA
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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