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发明名称 FILM FORMATION DEVICE AND MANUFACTURE OF FILM IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05129205(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910315536 申请日期 1991.10.31
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 USUI MASAAKI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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