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发明名称 Bonding tool and its fabrication
摘要
申请公布号 US5213248(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 US19920819321 申请日期 1992.01.10
申请人 NORTON COMPANY 发明人 HORTON, RALPH M.;HOGGINS, JAMES T.;KUO, SHIH-YEE
分类号 H01L21/603;B23H9/00;B23K20/02;H01L21/60 主分类号 H01L21/603
代理机构 代理人
主权项
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