| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING TUNGSTEN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05129230(A) |
申请公布日期 |
1993.05.25 |
| 申请号 |
JP19910286202 |
申请日期 |
1991.10.31 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
MIENO FUMITAKE;FURUMURA YUJI;ONO TOSHIHIKO |
| 分类号 |
C23C16/08;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768 |
主分类号 |
C23C16/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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