| 发明名称 |
ECR-TYPE PLASMA PROCESSING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05129235(A) |
申请公布日期 |
1993.05.25 |
| 申请号 |
JP19910285771 |
申请日期 |
1991.10.31 |
| 申请人 |
SAKAMOTO YUICHI;IRIE KOKEN KK;NICHIMEN KK |
发明人 |
SAKAMOTO YUICHI |
| 分类号 |
B01J19/08;C23C14/46;H01L21/205;H01L21/268;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/324 |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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