发明名称 MOVABLE STAGE
摘要
申请公布号 JPH05126972(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910288867 申请日期 1991.11.05
申请人 NIKON CORP 发明人 HAMADA TOMOHIDE;SHIRASU HIROSHI
分类号 G12B5/00 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
主权项
地址
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