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发明名称
REAL-TIME SURFACE MONITORING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05128991(A)
申请公布日期
1993.05.25
申请号
JP19910223614
申请日期
1991.08.09
申请人
HIKARI GIJUTSU KENKYU KAIHATSU KK;MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
GOSHIMA SHIGEO;ISU TOSHIRO;MORISHITA YOSHITAKA;NOMURA YASUHIKO
分类号
H01J37/295;H01L21/66
主分类号
H01J37/295
代理机构
代理人
主权项
地址
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