发明名称 REAL-TIME SURFACE MONITORING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05128991(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910223614 申请日期 1991.08.09
申请人 HIKARI GIJUTSU KENKYU KAIHATSU KK;MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 GOSHIMA SHIGEO;ISU TOSHIRO;MORISHITA YOSHITAKA;NOMURA YASUHIKO
分类号 H01J37/295;H01L21/66 主分类号 H01J37/295
代理机构 代理人
主权项
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