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发明名称 SEMICONDUCTOR MEMORY ELEMENT AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05129523(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910289990 申请日期 1991.11.06
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MATSUDO KIYOHIKO
分类号 H01L27/04;H01L21/822 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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