发明名称 METHOD OF EVALUATING CONTACT HOLE
摘要
申请公布号 JPH05129389(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910288727 申请日期 1991.11.05
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KUROKI HIROSHI;OZAWA NOBUO
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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