发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE OPERATED AT LOW TEMPERATURE
摘要
申请公布号 JPH05129315(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910291249 申请日期 1991.11.07
申请人 HITACHI LTD 发明人 MIYAMOTO MASABUMI;YANO KAZUO;SEKI KOICHI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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