| 摘要 |
Способ активного технологического контроля электрофизических параметров структуры островкового пленочного катализатора при синтезе наноструктурных объектов, включающий размещение контрольного образца вместе с рабочими подложками в зоне напыления, напыление резистивного материала на поверхности контрольного образца и рабочих подложек, находящихся в равных условиях, измерение сопротивления пленки на контрольном образце, отличающийся тем, что производят контроль электрофизических параметров формируемой островковой наноструктуры из материала катализатора посредством измерения емкости островковой структуры, образующейся на контрольном образце, прекращают напыление катализатора при достижении пикового значения емкости образованной островковой структуры катализатора на контрольном образце, затем начинают процесс напыления углерода на островковую структуру катализатора, образованную на поверхности контрольного образца и рабочих подложек, контролируют сопротивление структуры, состоящей из образующихся углеродных нанообъектов на контрольном образце, прекращают процесс напыления углерода при резком уменьшении сопротивления сформированной структуры из углеродных нанообъектов, синтезированных на поверхности островковой структуры катализатора. |
