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发明名称 SYNCHROTRON RADIATION LIGHT EXPOSURE MECHANISM
摘要
申请公布号 JPH05129186(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910287971 申请日期 1991.11.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TABATA FUMIO;SEKIGUCHI HIDENORI;KAMATA TORU;SAKATA YUJI
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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