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发明名称
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05129292(A)
申请公布日期
1993.05.25
申请号
JP19910287779
申请日期
1991.11.01
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
MOROZUMI YUKIO
分类号
H01L21/3213;H01L21/3205
主分类号
H01L21/3213
代理机构
代理人
主权项
地址
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