| 发明名称 |
PHOTOSENSITIVE COMPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05127386(A) |
申请公布日期 |
1993.05.25 |
| 申请号 |
JP19910287820 |
申请日期 |
1991.11.01 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
OYASATO NAOHIKO;ONISHI KIYONOBU;NIKI HIROICHI;HAYASE RUMIKO;KOBAYASHI YOSHIHITO |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/022;G03F7/029;G03F7/039;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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