发明名称
摘要
申请公布号 JPH0535120(B2) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19860122672 申请日期 1986.05.27
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 ONABE KENTARO;TASHIRO YOSHIHARU
分类号 C30B23/08;C30B25/18;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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