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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH05129633(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910315276 申请日期 1991.11.05
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TSUJIMOTO MASAO
分类号 H01L21/8247;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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