发明名称 DEFECTIVE PELLET RECORDING METHOD AND DISCRIMINATION METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05129383(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910284826 申请日期 1991.10.30
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 HIRAI KATSUNORI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址