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发明名称 ELECTRIC CHARGE NEUTRALIZATION METHOD AND DEVICE FOR ION BEAM AND DRIVE PROCESSOR AND SURFACE MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05129096(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910288573 申请日期 1991.11.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 HIRAOKA SUSUMU;ONO TETSUO;SUZUKI KEIZO;MIZUTANI TATSUMI
分类号 H01L21/302;H05H3/02 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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