| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05129281(A) |
申请公布日期 |
1993.05.25 |
| 申请号 |
JP19910286203 |
申请日期 |
1991.10.31 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
NAKAHIRA JUNYA;TOKI MASAHIKO |
| 分类号 |
H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
