发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING MULTILAYER WIRING STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH05129448(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910313798 申请日期 1991.10.31
申请人 SONY CORP 发明人 NAGASHIMA NAOKI
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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