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发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH05129330(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910286789 申请日期 1991.10.31
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 KINUGASA HAJIME
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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