| 发明名称 |
MANUFACTURE OF INSULATING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05129276(A) |
申请公布日期 |
1993.05.25 |
| 申请号 |
JP19910288997 |
申请日期 |
1991.11.06 |
| 申请人 |
FUJI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
SHIMIZU AKIO;TSUJI NAOTO;KAMIYAMA MICHIYA |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/511;H01L21/31;H01L21/318 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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