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发明名称 DRY ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05129234(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910288497 申请日期 1991.11.05
申请人 SHARP CORP 发明人 ITOGA TAKASHI;SAKURAI TAKEHISA;UJIMASA HITOSHI;MORIUCHI SOTA;MIYANOCHI MAKOTO;KATO HIROAKI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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