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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05129373(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910313774 申请日期 1991.10.31
申请人 NEC CORP 发明人 URUSHIMA MICHITAKA
分类号 H01L21/56;H01L21/60;H01L23/28;H01L23/50 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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