| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE INSPECTION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05129401(A) |
申请公布日期 |
1993.05.25 |
| 申请号 |
JP19910290168 |
申请日期 |
1991.11.06 |
| 申请人 |
HAMAMATSU PHOTONICS KK |
发明人 |
INUZUKA EIJI;ISHIDA KAZUYUKI;KUME TOSHIHIRO;OGURI SHIGEHISA;SUZUKI YASUSHI;NAGATA WATARU |
| 分类号 |
G12B5/00;H01L21/66;H01L27/14;H04N7/18 |
主分类号 |
G12B5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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