发明名称 PLASMA TREATMENT METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05129094(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910288888 申请日期 1991.11.05
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 NAKAGAWA SATOSHI;NAMURA TAKASHI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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