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发明名称
SURFACE ATTACHED PARTICLE DETECTION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05129399(A)
申请公布日期
1993.05.25
申请号
JP19910287823
申请日期
1991.11.01
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
HAYASHI MASAKAZU
分类号
G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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