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发明名称 SILICON NITRIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH05129287(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910318687 申请日期 1991.11.07
申请人 CASIO COMPUT CO LTD 发明人 AZUMA TOSHIAKI
分类号 C23C16/34;H01L21/318;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
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