发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR AND FORMATION OF PROTECTIVE FILM THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05126662(A) 申请公布日期 1993.05.21
申请号 JP19910289002 申请日期 1991.11.06
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 YAMASHITA NORIYASU
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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