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发明名称 VACUUM DEPOSITION METHOD
摘要
申请公布号 JPH05125524(A) 申请公布日期 1993.05.21
申请号 JP19910289661 申请日期 1991.11.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SHINOHARA KOICHI
分类号 C23C14/30;G11B5/84;G11B5/85 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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