| 发明名称 |
PROBE FINE-MOVE MECHANISM OF SCANNING-TYPE TUNNEL MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05126515(A) |
申请公布日期 |
1993.05.21 |
| 申请号 |
JP19910105856 |
申请日期 |
1991.05.10 |
| 申请人 |
HITACHI CONSTR MACH CO LTD;HITACHI LTD |
发明人 |
TAKADA RYUJI;HOSOKI SHIGEYUKI;HOSAKA SUMIO;YAMADA OSAMU;HAZAKI EIICHI |
| 分类号 |
G01B7/34;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q60/10;G01Q60/16;G05D3/00;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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