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发明名称
TARGET FOR SPUTTERING
摘要
申请公布号
JPH05125526(A)
申请公布日期
1993.05.21
申请号
JP19910293400
申请日期
1991.11.08
申请人
VACUUM METALLURGICAL CO LTD
发明人
MAENOZONO MASANORI;OBA AKIRA;KOGA YOICHI
分类号
C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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