发明名称 TARGET FOR SPUTTERING
摘要
申请公布号 JPH05125526(A) 申请公布日期 1993.05.21
申请号 JP19910293400 申请日期 1991.11.08
申请人 VACUUM METALLURGICAL CO LTD 发明人 MAENOZONO MASANORI;OBA AKIRA;KOGA YOICHI
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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