发明名称 VAPOR DEPOSITION FRAME FOR FORMING ELECTRODE OF PIEZOELECTRIC SUBSTANCE
摘要
申请公布号 JPH05125535(A) 申请公布日期 1993.05.21
申请号 JP19910313343 申请日期 1991.10.31
申请人 NIPPON DEMPA KOGYO CO LTD 发明人 OKAMOTO KENZO;YAMAUCHI HIROYUKI
分类号 C23C14/50;H01L41/04 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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