| 发明名称 |
OPTICAL INSPECTING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05126748(A) |
申请公布日期 |
1993.05.21 |
| 申请号 |
JP19910105785 |
申请日期 |
1991.05.10 |
| 申请人 |
O R B O T SYST LTD |
发明人 |
IGARU KATSUIRU;ODEDO ARUNON;EIYARU TAIHIMAN |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N21/84;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/95;G01N21/956;G02B6/00 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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