| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR SLICING |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05124030(A) |
申请公布日期 |
1993.05.21 |
| 申请号 |
JP19910288457 |
申请日期 |
1991.11.05 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHIMURA TAKASHI;ICHIKAWA NAKABA;NAGANUMA TAKASHI |
| 分类号 |
H01L21/304;B28D5/00;B28D5/02;G05B19/19;G12B5/00 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
