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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR930004117(B1) 申请公布日期 1993.05.20
申请号 KR19890019285 申请日期 1989.12.22
申请人 TOSHIBA CO., LTD. 发明人 MORI, SEICHI
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/302;H01L29/94 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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