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发明名称 VORRICHTUNG ZUR PLASMA-BEARBEITUNG VON LEITENDEN SCHEIBEN.
摘要
申请公布号 DE68903869(T2) 申请公布日期 1993.05.19
申请号 DE19896003869T 申请日期 1989.04.17
申请人 FRANCE TELECOM, PARIS, FR 发明人 STRABONI, ALAIN;VUILLERMOZ, BERNARD, F-38000 GRENOBLE, FR;BERENGUER, MARC, F-38600 FONTAINE, FR
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01J37/20;C23C8/36 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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