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发明名称 GATE STRUCTURE OF FIELD EFFECT DEVICE AND METHOD FOR FORMING THE SAME
摘要
申请公布号 EP0502749(A3) 申请公布日期 1993.05.19
申请号 EP19920301951 申请日期 1992.03.06
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. 发明人 YAMAZAKI, SHUNPEI;MASE, AKIRA;HAMATANI, TOSHIJI
分类号 G02F1/1362;H01L21/336;H01L21/60;H01L27/12;H01L29/49;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/784;H01L29/62 主分类号 G02F1/1362
代理机构 代理人
主权项
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