表面电子能谱的测量方法及其装置

摘要

一种表面电子能谱的测量方法及其装置，试样加热采用直接加热方式，其特征在于：加热电流采用脉冲调制波的形式，使加热和测试在不同的时间间隔内轮流进行。一种实现上述测量方法的测量系统，其特征在于用脉冲调制开关电源产生上述方法中的电流；本发明具有不影响系统真空度、加热区减小，温度上限高、升温速度快，且测试信号不受影响等优点。

主权项

1、一种表面电子能谱的测量方法，包括试样加热、系统冷却、温度检测和信号检测四部分，试样加热采用直接加热方式，其特征在于：(1)加热电流采用脉冲波的形式，在脉冲波的间歇周期△t2内进行信号检测，在△t1内进行试样加热，使加热和测试在不同的时间间隔内轮流进行；(2)在脉冲波的基础上调制以交变周期振荡电流，如方波、三角波、正弦波等。