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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0533527(B2) 申请公布日期 1993.05.19
申请号 JP19860079766 申请日期 1986.04.07
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP 发明人 YONEDA KENJI
分类号 H01L21/205;H01L21/265 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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