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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05121554(A) 申请公布日期 1993.05.18
申请号 JP19910281717 申请日期 1991.10.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YOKOYAMA JUNICHI
分类号 H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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