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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05121560(A) 申请公布日期 1993.05.18
申请号 JP19910277895 申请日期 1991.10.24
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 HIRANO SHINJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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