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发明名称 METHOD FOR EVALUATING EPITAXIAL CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH05121510(A) 申请公布日期 1993.05.18
申请号 JP19910306530 申请日期 1991.10.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HAYAFUJI AKIO
分类号 H01L21/20;G01B15/02;H01L21/205;H01L21/36;H01L21/365;H01L21/66;H01S5/00 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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