| 发明名称 |
DRY-ETCHING METHOD AND RADIANT HEAT MASK USING FOR THE METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05121375(A) |
申请公布日期 |
1993.05.18 |
| 申请号 |
JP19910247624 |
申请日期 |
1991.09.26 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SATORU;DAIKYO YOSHIHISA |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
