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发明名称 MANUFACTURE OF HIGH MELTING POINT METAL FILM
摘要
申请公布号 JPH05121358(A) 申请公布日期 1993.05.18
申请号 JP19910280138 申请日期 1991.10.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 NISHIWAKI TORU
分类号 C23C14/34;H01L21/203;H01L21/28;H01L21/285 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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