| 发明名称 |
TREATMENT SOLUTION APPLYING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05121308(A) |
申请公布日期 |
1993.05.18 |
| 申请号 |
JP19910309810 |
申请日期 |
1991.10.29 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON KYUSHU KK |
发明人 |
MATSUYAMA YUJI |
| 分类号 |
B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
B05C11/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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