发明名称 SELECTIVE EPITAXY OF SILICON IN SILICON DIOXIDE APERTURES WITH SUPPRESSION OF UNWANTED FORMATION OF FACETS
摘要
申请公布号 US5212112(A) 申请公布日期 1993.05.18
申请号 US19910704749 申请日期 1991.05.23
申请人 AT&T BELL LABORATORIES 发明人 LYNCH, WILLIAM T.
分类号 H01L21/20;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/762;H01L29/78 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址