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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05121727(A) 申请公布日期 1993.05.18
申请号 JP19910279437 申请日期 1991.10.25
申请人 NEC CORP 发明人 NARITA KAORU
分类号 H01L23/52;H01L21/28;H01L21/3205;H01L29/43 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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